高温ITO薄膜应变计结构参数影响研究

作者:李剑; 刘志春; 周浩; 李强; 赵鑫; 梁军生; 王立鼎
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由氧化铟 tin(ITO)制成的高温薄膜广泛用于航空发动机涡轮叶片等热端部件的应变测量。为了探讨高温ITO薄膜应变计结构参数对其应变敏感系数(GF)的影响,采用Eiffel塔对不同敏感网格长度和不同敏感网格数的高温ITO薄膜应变计进行了测试。通过模拟分析和实验验证,系统研究了25、600、800和900处应变计的差异。结果表明,高寒地区的GF随着敏感门长度的增加而增加,随着敏感门数量的增加先增加后减少(中间值敏感门的最佳数量为6门)。最后,得出敏感栅长度5mm和敏感栅数目是最佳结构参数,不同温度下用最佳结构参数制备的高温ITO薄膜的alpine GF保持在3.2左右。研究结果对优化应变计高温ITO薄膜的高温性能具有一定的参考价值。