X射线荧光光谱分析技术（XRF）是元素分析的有效工具。它具有快速、无损、多元素同时测定的特点，能够满足稀土元素分析的需要，在地质学、冶金等许多领域发挥着非常重要的作用。进入21世纪以来，XRF稀土工业的发展和二次资源的再利用关注分析方法的同步研发。综述了近年来X射线荧光光谱技术的发展、样品制备方法的改进、稀土分析方法的优化及其在成分、空间分布和元素形态分析中的应用。探讨了XRF在REEs分析和应用领域的发展趋势，以期为XRF稀土分析技术的发展和推广提供参考思路。