L~Ka波段MEMS单刀七掷开关的设计与研究
作者:吴倩楠; 范丽娜; 李孟委
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针对插入损耗和隔离度MEMS单极七掷开关体积大、性能差的问题,设计了一种基于米功分器的单极七掷MEMS开关。利用HFSS软件设计了RF-MEMS开关单元和“meter”功分器,并对开关的S参数和驻波比进行了仿真,利用COMSOL软件对RF-MEMS开关单元进行了分析。结果表明,在1~40GHz频段内,单极七掷MEMS开关各端口的插入损耗为0.45dB·40GHz,隔离度为29.5dB·40GHz,驻波比为1.45,体积为0.65mm0。500万。5毫米。该设计可与滤波器、衰减电阻、天线等集成。它可以应用于多通道可调谐MEMS器件。在卫星通信、雷达、微波测试等领域具有一定的应用价值。