随着高新技术的飞速发展，精密制造对硬脆材料的表面质量提出了越来越高的要求。传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精密抛光作为一种降低材料表面粗糙度、提高材料表面粗糙度、获得表面平整度的加工技术，被广泛应用于材料表面的端面精加工，以获得高精度的材料表面。结合近年来硬脆材料超精密抛光技术的研究现状，介绍了磁流变抛光、离子束抛光、化学机械抛光等超精密抛光技术的原理和特点，总结了其在硬脆材料中的应用研究进展，展望了硬脆材料超精密抛光技术的未来研究方向。